此系列閥門(mén)是以氣動(dòng)和電動(dòng)兩種驅(qū)動(dòng)方式,在結(jié)構(gòu)上設(shè)計(jì)合理,具有動(dòng)作平穩(wěn)、沖擊振動(dòng)小、使用可靠、密封性能好和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),是大型真空設(shè)備自動(dòng)化首選閥門(mén)之一。閥門(mén)是氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)或電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)推動(dòng)推桿,通過(guò)推桿鏈接鉸鏈機(jī)構(gòu),帶動(dòng)鉸鏈運(yùn)動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)閥門(mén)的接開(kāi)啟和關(guān)閉動(dòng)作。
采用鉸鏈機(jī)構(gòu),放大閥門(mén)行程,增加力臂;四輪支撐運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),動(dòng)作平穩(wěn),運(yùn)動(dòng)噪音低;撥叉結(jié)構(gòu),減少閥門(mén)摩擦損耗,使閥門(mén)打開(kāi)和關(guān)閉動(dòng)作平穩(wěn),增加密封;密封圈為氟橡膠,密封可靠,放氣率低;閥門(mén)整體采用不銹鋼內(nèi)部段焊焊接,漏率小。